3D磁場プローブステーション

 

1. 製品概要

Dexinmag 3D磁場プローブステーションは、科学研究および産業用途向けに設計されたデバイスです。半導体産業、MEM、超伝導、エレクトロニクス、鉄電子、物理学、材料科学、バイオメディカルなどの分野で広く使用されています。高度な磁場生成技術と精密プローブ検出技術を組み合わせて、包括的かつ効率的な3次元磁場環境で包括的かつ効率的なテストソリューションをユーザーに提供します。

 

2. 製品の特徴

3D 磁場発生器: このプローブ ステーションは、独自の磁場発生技術を使用して、正確に制御された 3D 磁場を生成します。ユーザーは、さまざまな複雑な環境でのテストのニーズを満たすために、必要に応じて磁場の方向、強度、分布を調整できます。

 

高効率冷却システム：コイルはガス冷却（小さな磁場に適しています）または水冷（大きな磁場に適しています）を使用して、磁場生成の安定性と持続性を効果的に確保します。同時に、装備されたコイル過熱保護装置により、機器の安全性と信頼性がさらに向上します。

 

高精度バイポーラ DC 電源: Dexinmag が生成した高精度バイポーラ DC 電源と組み合わせることで、このプローブ ステーションは安定して動作します。

 

柔軟なサンプルテーブル設計: サンプルテーブルは、2 次元の移動と水平方向の 360- 度の回転を実現できるため、サンプルの取り付けとテストのプロセスが大幅に容易になります。同時に、サンプルテーブルはさまざまなサイズのウェーハとデバイスに適応できるため、テストの柔軟性と効率が向上します。

 

高精度プローブ技術：4つの高精度プローブを装備し、DCまたは低周波AC信号テストをサポートし、チップ、ウェーハ、パッケージング装置などの磁場の作用下でさまざまなパラメータを正確に測定できます。同時に、高精度電子顕微鏡は小さなサンプルを観察するのに適しています。

 

3. アプリケーション

Dexinmag 3D磁場プローブステーションは、半導体産業、MEM、超伝導、電子工学、鉄電子工学、物理学、材料科学、生物医学などの分野で広く使用されています。このプローブステーションは、実際のバイポーラ電力出力を通じて、空間内の任意の方向のベクトル機会を実現し、ユーザーに包括的なテストソリューションを提供します。

 

4. オプションアクセサリ

（１）各種DCプローブ、高周波プローブ、アクティビティプローブなど、さまざまなテストニーズに対応します。

（２）観察や記録テストに便利なケーブル式CCDまたはC-MOSビデオ画像撮影装置。

（３）チャックモーション電磁システム／超伝導磁気システムは、磁場の強度を高めたり、特定の磁場環境を実現したりするために使用されます。

（4）1MPA正圧システムアップグレード、超高温アップグレードオプション、超高真空アップグレードオプションなど、特殊な環境でのテストニーズを満たします。

（５）試験の安定性と精度を向上させるための各種固定装置、シールドボックス、反射テーブル、アダプタなど。

（6）静音真空ポンプにより、清潔で静かなテスト環境を確保します。

 

5. パラメータ

 

3次元磁場プローブステーション
モデル	DX3PS1	DX3PS2	DX3PS3
材料	選ばれた材料は高品質の非磁性材料です
磁場範囲	500Gs	300Gs	100GS
コイル材質	高品質の耐熱エナメル線
磁場均一性	中心面積50mm球1%以内
電力安定性	3つの高精度DC電源50ppm（オプションで10ppm）
磁場分解能	0.05mT
角度分解能	0.02 度
サンプル固定方法	吸盤またはタブレット
サンプルテーブル直径	50mmはカスタマイズ可能
顕微鏡	X および Y 平面 2*2 インチ、精度 1μm、Z 軸移動 50.8mm 以上、オプションのローディング レーザー
倍率	16 ~ 100X/20 ~ 4000X
プローブアームの数	2、4（オプション）
プローブアームの移動	25 mm-25mm-12mm 交換可能
プローブアームの移動精度	10um/2um/1um/0.7μm オプション
プローブの長さ	38mm
プローブ直径	0.51mm
針径	10μm/5μm/1μm
プローブ材料	タングステン/ベリリウム銅/GGB
漏れ精度	100fA
顕微鏡	X および Y 平面 2*2 インチ、精度 1μm、Z 軸移動 50.8mm 以上、オプションのローディング レーザー

 

6. 購入前のパラメータ確認

テストする必要があるウェーハまたはデバイスの最大インチ数、フラグメントまたは単一チップをテストする必要があるかどうか、最小の単一チップ サイズ。

 

プローブステーションの機械的精度要件はどの程度ですか。

スポット測定サンプルの電極サイズ；100μm×100μmまたは60μm×60μmパッド、またはFIBで作製したミニパッド、またはIC内部の金属回路。

ポイント測定には同時に最大複数のプローブが必要です。

 

プローブカードテストが使用されるかどうか。

光学顕微鏡に必要な最小解像度はどれくらいですか。

顕微鏡の観点から、LC 液晶ホットスポット検出のために偏光子を追加する必要がありますか。

 

プローブスポットテスト中に電流要件が 100fa 以下に達するかどうか。低容量要件は 0.1pf である必要がありますか。無線周波数要件があるかどうか。

接続されているテスト機器のインターフェースは何ですか。

環境をテストするときに加熱または冷却が必要かどうか。密閉された空洞が必要かどうか。

チャックの漏れ要件はどうですか。低インピーダンスのチャックを追加する必要がありますか。

耐衝撃テーブルが必要かどうか。

耐震テーブルを追加する場合は、圧縮空気があるかどうか。

 

 

今日のダイナミックで継続的な発展を遂げるビジネス パターンでは、優れたカスタマー サービスを提供することが、長期的な顧客関係を築くために不可欠です。当社は「顧客優先」の方法を堅持し、航空輸送と海上輸送のさまざまな輸送手段を徹底的に評価しました。当社は、可能な限り顧客の特定の要件と一致し、常に卓越性を追求し、顧客の期待を超えるカスタマイズされたソリューションを策定することに尽力しています。当社は、商品が常に正確かつ安全に目的地に到着することを保証します。信頼できる配送体験をお客様に提供します。当社は、顧客満足と信頼が当社の最も貴重な資産であり、永続的な発展の触媒であることを深く認識しています。

 

質問1：3次元磁場プローブは磁場の校正と検証にどのような技術を採用しましたか？

答え：

ホール効果センサー: ホール効果センサーを使用して、磁場分布の正確な測定と校正を行います。

レーザー干渉測定技術：レーザー干渉測定技術を使用して、磁場プローブの位置を校正します。

3D 磁場アナログ ソフトウェア: 高度な磁場アナログ ソフトウェアを採用し、数値計算を通じて磁場分布をシミュレートおよび検証します。

自動校正システム: 自動校正システムを搭載しており、事前に設定された校正手順を通じて磁場校正プロセスを自動的に完了します。

 

 

質問 2: 3D 磁場プローブのプローブ技術と測定精度の革新は何ですか?

答え：

ナノレベルプローブ技術：ナノレベルプローブ技術を使用すると、ナノレベルの直径に到達でき、サンプルの表面で高精度の測定を実現できます。

高精度位置決め技術：精密変位制御システムとセンサーを使用して、3次元空間でのプローブの高精度な位置決めと移動を実現します。

温度補償技術：温度が磁場測定精度に与える影響に対応するため、温度補償技術を採用し、環境温度をリアルタイムで監視し、それに応じて調整します。

マルチパラメータ測定機能: 磁場測定に加えて、電流、電圧、温度などの複数のパラメータも測定できるため、材料研究やデバイステストに包括的なデータサポートを提供します。

 

 

質問3：自動化とインテリジェント化の観点から見た3次元磁場プローブの開発動向は何ですか？

答え：

自動テストプロセス: 自動テストプロセスを導入することで手動操作を削減します。

インテリジェントなデータ分析: インテリジェントなアルゴリズムを使用して、テスト データを自動的に分析および処理し、重要な情報を抽出し、研究者により価値のある分析結果を提供します。

リモート制御と監視: リモート制御と監視機能をサポートします。ユーザーは機器をリモートで操作し、テスト結果を表示し、データ分析を実行して、機器の柔軟性と使いやすさを向上させることができます。

統合ソリューション: 3次元磁場プローブとその他の試験装置、制御システムなどを統合し、完全な試験ソリューションを形成し、ユーザーにワンストップ試験サービスを提供します。