磁場プローブステーション

 

この極低温プローブステーション（オプション：高温、低温、真空、磁場）は、半導体材料、マイクロナノデバイス、磁性材料、スピントロニクスデバイスおよび関連技術分野の電気的および磁気的特性をテストするために設計された高精度の多機能実験プラットフォームです。

 

 

1. 高精度実験プラットフォーム：プローブステーションには高精度変位のプローブアームが備わっており、小さなサンプルを正確に操作してテストできます。

2. 多機能構成：ユーザーのニーズに応じて、高温、低温、真空、磁場などの構成を選択し、さまざまな複雑な実験環境のニーズを満たすことができます。

3. 高安定性磁場：慎重に設計された磁場システムと高精度のバイポーラ定電流電源を組み合わせることで、磁場の高い安定性が保証されます。

4. 変位ステージの設計：変位ステージには磁性流体シールが装備されており、サンプルステージの水平方向の2次元移動と360-度回転を実現し、操作が柔軟で便利です。

5. 顕微鏡観察：高精度電子顕微鏡を搭載しており、小さなサンプルを詳細に観察・操作するのに便利です。

 

 

このプローブ ステーションは、半導体産業、マイクロ電気機械システム、超伝導、電子工学、強誘電電子工学、物理学、材料科学、生物医学などの分野で広く使用されています。

磁気性能試験

マイクロ波性能試験

DC、RF性能テスト

MEMS性能テスト

超伝導性能試験

ナノ回路、量子ドット、ワイヤの光電性能試験

高温・低温真空環境でのチップテスト

材料試験

ホールテスト

電磁輸送性能試験等

 

 

さまざまなユーザーのニーズを満たすために、次のようなオプションのアクセサリを提供しています。

各種DCプローブ、高周波プローブ、アクティブプローブ

有線CCDまたはC-MOSビデオイメージングデバイス

吸盤運動装置電磁石システム/超伝導磁石システム

1Mpa正圧システムのアップグレード

超高温アップグレードオプション

超高真空アップグレードオプション

各種プローブ固定具

シールドボックス防振テーブル

アダプタ

静音真空ポンプ等

 

 

高温・低温真空磁場プローブステーション
モデル	DXTPS1	DXTPS2	DXTPS3
真空度	最大真空度 10-8Pa
キャビティ材質	非磁性ステンレス鋼またはアルミニウム合金
磁場範囲	2000Gs @ 50mm	5000Gs @ 50mm	1T @ 50mm
磁場の方向	水平方向（垂直方向はユーザーの要件に応じて設計可能）
電源	バイポーラ電源 ± 50A	バイポーラ電源 ± 70A	バイポーラ電源 ± 90A
電源の安定性	50ppm オプション10ppm
冷蔵モード	液体ヘリウム/液体窒素冷凍/密閉サイクル冷凍機
温度範囲	5 K-325K オプション 500K
温度範囲	65 K-325K オプション 600K
温度制御解像度	0.001K 温度コントローラ関連
温度安定性	温度コントローラに応じて0.1K以上
温度センサー	シリコンダイオード/PT 100
センサー	サンプルテーブル 1 台、放射線スクリーン 1 台、プローブアーム 1 台。
サンプルテーブルサイズ（最大）	Φ50mm、平面度u7m以下
サンプルテーブルの固定方法	真空シリコングリース/スプリングプレス
サンプルテーブル素材	金メッキ無酸素銅
顕微鏡旅行	X、Y平面2×2インチ、精度1um、Z軸移動量50.8mm以上
倍率	16 ~ 100X/20 ~ 4000X
真空チャンバー観察窓サイズ	1インチ	1.5インチ	2インチ
窓の材質	溶融シリカ（オプションでK9、フッ化カルシウムなど）
プローブアームの数	2、4、6、8（オプション）
プローブアームの移動	25 mm-25mm-12mm 交換可能
機械精度	10um/ 2um/ 1um/ 0.7um
インターフェースフォーム	通常の真空ジョイント/3同軸ジョイント/BNC/SMAなど
プローブ直径	0.51mm
針先直径	10um/ 5um/ 1um オプション
プローブ材料	タングステン/GGB
供給電圧	AC220V 50Hz/60Hz	AC380V 50Hz/60Hz

 

購入前のパラメータ確認:

 

テストする必要があるウェーハまたはデバイスの最大インチ数、フラグメントまたは単一チップをテストする必要があるかどうか、最小の単一チップ サイズ。

プローブステーションの機械的精度要件はどの程度ですか。

スポット測定サンプルの電極サイズ；100μm×100μmまたは60μm×60μmパッド、またはFIBで作製したミニパッド、またはIC内部の金属回路。

ポイント測定には同時に最大複数のプローブが必要です。

プローブカードテストが使用されるかどうか。

光学顕微鏡に必要な最小解像度はどれくらいですか。

顕微鏡の観点から、LC 液晶ホットスポット検出のために偏光子を追加する必要がありますか。

プローブスポットテスト中に電流要件が 100fa 以下に達するかどうか。低容量要件は 0.1pf である必要がありますか。無線周波数要件があるかどうか。

接続されているテスト機器のインターフェースは何ですか。

環境をテストするときに加熱または冷却が必要かどうか。密閉された空洞が必要かどうか。

チャックの漏れ要件はどうですか。低インピーダンスのチャックを追加する必要がありますか。

耐衝撃テーブルが必要かどうか。

耐震テーブルを追加する場合は、圧縮空気があるかどうか。

 

極低温プローブステーションのその他の写真

 

 

 

当社は、ショッピング体験の感覚を高める上での物流の重要な役割を深く認識しており、お客様に合わせた効率的で安全かつ信頼性の高い物流および輸送ネットワークの設計に取り組んでいます。当社は、多くの有名な物流プロバイダーと長期的で強力なパートナーシップを確立し、お客様の製品がタイムリーかつ安全に目的地に到着することを保証します。さらに、製品の輸送状況を把握できるように包括的な追跡サービスを提供しています。当社はお客様を最優先し、サービス品質の向上に常に努め、優れたショッピング体験を提供するよう努めています。

 

 

質問 1: 高温および低温真空プローブの微細観察およびイメージング機能に対する特性は何ですか?

答え：

1. 高解像度: プローブデスクには高解像度の顕微鏡システムが搭載されており、サンプルの表面の外観と構造をリアルタイムで観察することができ、研究機器の外観特性、欠陥分析、材料表現に不可欠です。

2. イメージング機能: 顕微鏡システムは通常、さまざまなサンプルや実験のニーズを満たすために、光学イメージング、電子イメージングなどのさまざまなイメージングモードを備えています。これらのイメージングパターンは豊富な画像情報を提供し、研究者がサンプルの性質を理解するのに役立ちます。

 

 

質問 2: 高温および低温真空プローブのデータ収集および分析ソフトウェアの機能は何ですか?

答え：

1. リアルタイム収集: 電気、ミクロ、材料分析データをリアルタイムで収集するには、プローブデスクに高度なデータ収集および分析ソフトウェアを装備する必要があります。

2. 処理と分析: データ収集ソフトウェアには通常、画像処理、データフィッティング、3次元再構築など、複数のデータ処理および分析機能があります。

 

 

質問3：ミクロ観察およびイメージング機能の観点から見た高温真空プローブと低温真空プローブの特徴は何ですか？

答え：

高解像度: プローブデスクには、サンプルの表面の外観と構造をリアルタイムで観察できる高解像度顕微鏡システムが装備されており、研究機器の外観特性、欠陥分析、材料表現に不可欠です。

イメージング機能: 顕微鏡システムには通常、さまざまなサンプルや実験のニーズを満たすために、光学イメージング、電子イメージングなどのさまざまなイメージング モードがあります。